Obsługiwanych jest do 5 plików, każdy o rozmiarze 10 MB. dobrze
Shanghai Anping Static Technology Co.,Ltd 86-021-6451-7662 journey@sh-anping.com.cn
Aktualności Uzyskaj wycenę
Dom - Aktualności - Wpływ czynników elektrostatycznych na opakowania układów scalonych

Wpływ czynników elektrostatycznych na opakowania układów scalonych

October 30, 2020

Przemysł opakowaniowy należy do końcowego procesu produkcyjnego w całej produkcji IC.W tym procesie, w przypadku opakowania z tworzywa sztucznego IC, hybrydowego lub monolitycznego układu scalonego, występują głównie ścieńczenie wafla (szlifowanie), cięcie wafla (trasowanie) i ładowanie rdzenia.(Arkusz klejący), zgrzewanie ciśnieniowe (klejenie), pakowanie (hermetyzacja), utwardzanie wstępne, powlekanie galwaniczne, drukowanie, utwardzanie końcowe, cięcie żeber, mocowanie rur, testowanie po zgrzewaniu itp. Każdy proces ma inne wymagania dla różnych środowisk procesowych .

Wpływ czynników elektrostatycznych na opakowania układów scalonych

Przede wszystkim przyczynę elektryczności statycznej można dostrzec wszędzie.Dzisiaj, wraz z szybkim rozwojem nauki i technologii oraz wysokim stopniem automatyzacji produkcji przemysłowej, szkody związane z elektrycznością statyczną w produkcji przemysłowej są już oczywiste.Może powodować różne przeszkody, ograniczać poprawę poziomu automatyzacji i wpływać na jakość produktu.Oto główne powody generowania elektryczności statycznej w oparciu o rzeczywistą sytuację naszej fabryki w procesie pakowania i produkcji układów scalonych.

1. Materiały konstrukcyjne i dekoracyjne w hali produkcyjnej to w większości materiały o wysokiej wytrzymałości.Proces produkcji IC wymaga użycia czystego lub ultra czystego warsztatu.
Wymagana jest zmiana wielkości cząstek odpylających z poprzednich 0,3 μm na 0,1 μm, a gęstość cząstek pyłu wynosi około 353 / m3.W tym celu, oprócz zainstalowania różnych urządzeń odpylających, w celu zapobieżenia pyleniu należy zastosować nieorganiczne i organiczne materiały bezpyłowe.Jednak właściwości elektryczne materiałów budowlanych nie są uważane za wskaźnik.W specyfikacjach projektowych nie ma przepisu dotyczącego czystych warsztatów przedsiębiorstw przemysłowych.Głównymi materiałami do dekoracji wnętrz używanymi w czystym warsztacie fabryki IC są: elastyczna podłoga poliuretanowa, nylon, twardy plastik, polietylen, tapeta z tworzywa sztucznego, żywica, drewno, biała płyta porcelanowa, emalia, tynk itp. Większość z wymienionych materiałów. są związkami polimerowymi lub izolatorami.Na przykład rezystywność korpusu z pleksi wynosi 1012 ~ 1014Ω / cm, a rezystywność korpusu polietylenowego wynosi 1013 ~ 1015Ω / cm, więc przewodnictwo jest stosunkowo słabe, a elektryczność statyczna z jakiegoś powodu nie jest łatwa do przecieku do ziemi przez nie, powodując gromadzenie się elektryczności statycznej.

2. Elektryczność statyczna ciała ludzkiego
Różne ruchy i chodzenie tam iz powrotem operatorów pomieszczeń czystych, podeszwy butów i podłoże są stale w bliskim kontakcie i oddzieleniu, a różne części ludzkiego ciała również podlegają czynnościom i tarciu.Niezależnie od tego, czy chodzi o szybki marsz, powolny marsz czy kłus, generowana będzie elektryczność statyczna, która jest tak zwanym ładunkiem chodzenia;ciało ludzkie wstaje po ruchu., Odzież robocza noszona przez ludzkie ciało i powierzchnia krzesła są oddzielane po kontakcie z powierzchnią krzesła, generowany jest również ładunek elektrostatyczny.Jeśli nie można wyeliminować napięcia elektrostatycznego ludzkiego ciała, a układ scalony zostanie dotknięty, może to spowodować nieświadome uszkodzenie układu scalonego.

3. Elektryczność statyczna spowodowana klimatyzacją i oczyszczaniem powietrza
Ponieważ produkcja układów scalonych wymaga 45-55% RH, należy wdrożyć klimatyzację i oczyszczanie powietrza.Osuszone powietrze trafia do pomieszczenia czystego przez filtr główny, filtr o średniej wydajności, filtr o wysokiej wydajności oraz kanał powietrzny.Ogólnie prędkość wiatru głównego kanału powietrznego wynosi 8 ~ 10 m / s, a wewnętrzna ściana kanału powietrznego jest pomalowana.Kiedy suche powietrze i kanał powietrzny, suche powietrze i filtr poruszają się względem siebie, generowana jest elektryczność statyczna.Należy zauważyć, że elektryczność statyczna jest bardziej wrażliwa na wilgoć.
Ponadto transport półfabrykatów i produktów IC będzie generować elektryczność statyczną podczas pakowania i transportu, która jest jednym z czynników elektryczności statycznej.
Po drugie, uszkodzenie elektryczności statycznej IC jest znaczne.Ogólnie rzecz biorąc, elektryczność statyczna ma cechy wysokiego potencjału i silnego pola elektrycznego.W procesie ładowania i rozładowywania elektrostatycznego czasami powstają przejściowe wyładowania wysokoprądowe i impuls elektromagnetyczny (EMP), generując pola promieniowania elektromagnetycznego o szerokim spektrum.
Ponadto, w porównaniu z konwencjonalną energią elektryczną, energia elektrostatyczna jest stosunkowo niewielka.W naturalnym procesie elektryfikacji-wyładowania parametry wyładowania elektrostatycznego (ESD) są niekontrolowane i jest to proces losowy, który jest trudny do powtórzenia.Dlatego często na jego rolę wpływają ludzie.Zignorowano.Szczególnie w dziedzinie mikroelektroniki szkoda, jaką nam wyrządza, jest zdumiewająca.Według doniesień bezpośrednie straty ekonomiczne spowodowane elektrycznością statyczną sięgają nawet kilkuset milionów juanów rocznie.Elektryczność statyczna stała się główną przeszkodą w rozwoju przemysłu mikroelektronicznego.

W warsztacie produkującym urządzenia półprzewodnikowe, z powodu adsorpcji pyłu na chipie, wydajność układów scalonych, zwłaszcza układów scalonych o bardzo dużej skali (VLSI), zostanie znacznie zmniejszona.Operatorzy w warsztacie produkcyjnym IC noszą czyste kombinezony.Jeśli ciało ludzkie jest naładowane elektrycznością statyczną, łatwo wchłania kurz i brud.Jeśli ten kurz i brud dostanie się na miejsce pracy, wpłynie to na jakość produktu, pogorszy jego wydajność i znacznie zmniejszy wydajność Ic.Jeśli promień zaadsorbowanych cząstek pyłu jest większy niż 100 μm, a szerokość linii wynosi około 100 μm, gdy grubość folii jest poniżej 50 μm, produkt jest najprawdopodobniej zeskrobywany.

Po trzecie, uszkodzenie elektryczności statycznej IC ma pewne cechy.
(1) Ukrywanie O ile nie nastąpi wyładowanie elektrostatyczne, ciało ludzkie nie może bezpośrednio dostrzec elektryczności statycznej, ale ciało ludzkie może nie odczuwać porażenia prądem elektrycznym, gdy nastąpi wyładowanie elektrostatyczne.Dzieje się tak, ponieważ napięcie wyładowania elektrostatycznego wyczuwanego przez ludzkie ciało wynosi 2 ~ 3 kv, więc elektryczność statyczna jest ukryta.
(2) Potencjał Wydajność niektórych zlewów nie jest znacząco zmniejszona po uszkodzeniu przez elektryczność statyczną, ale wielokrotne skumulowane wyładowania spowodują wewnętrzne uszkodzenie urządzeń IC i stworzą ukryte zagrożenia.Dlatego elektryczność statyczna może uszkodzić układ scalony.
(3) W jakich okolicznościach przypadkowy układ scalony może ulec uszkodzeniu elektrostatycznemu?Można powiedzieć, że od momentu wyprodukowania układu scalonego do jego uszkodzenia, wszystkim procesom zagraża elektryczność statyczna, a generowanie elektryczności statycznej jest również przypadkowe.Jego obrażenia również są losowe.
(4) Analiza awarii złożonych uszkodzeń spowodowanych wyładowaniami elektrostatycznymi jest czasochłonna, pracochłonna i kosztowna ze względu na drobne, drobne i maleńkie cechy strukturalne mikroelektronicznych produktów scalonych, które wymagają zaawansowanej technologii i często wymagają użycia wysoce wyrafinowanych instrumentów mimo to Niektóre zjawiska związane z uszkodzeniami elektrostatycznymi są również trudne do odróżnienia od uszkodzeń spowodowanych innymi przyczynami;ludzie mylą niepowodzenie uszkodzeń spowodowanych wyładowaniami elektrostatycznymi jako inne awarie, które często przypisuje się wczesnej awarii lub nieznanym warunkom przed pełnym zrozumieniem uszkodzeń spowodowanych wyładowaniami elektrostatycznymi. Awaria, w ten sposób nieświadomie ukrywa prawdziwą przyczynę awarii.Dlatego analiza uszkodzeń elektryczności statycznej w układzie scalonym jest skomplikowana.

W sumie konieczne jest stworzenie systemu ochrony elektrostatycznej w procesie przetwarzania, produkcji i pakowania układów scalonych!Linie do produkcji opakowań IC mają bardziej rygorystyczne wymagania dotyczące elektryczności statycznej.W celu zapewnienia normalnej pracy linii produkcyjnej, ogólna dekoracja antystatycznych materiałów budowlanych odbywa się na czystym warsztacie, a wszyscy pracownicy wchodzący i wychodzący z czystego warsztatu są wyposażani w antystatyczną odzież.Oprócz przyjęcia środków sprzętowych, firma pakująca może przestrzegać odpowiednich norm krajowych i aktualnej sytuacji firmy.Sytuacja sformułowała standardy korporacyjne lub specyficzne wymagania w zakresie antystatyczności do współpracy przy normalnej eksploatacji linii do produkcji opakowań IC.Wraz z rozwojem linii pakowania IC w moim kraju, ulepszeniem możliwości pakowania, wzrostem różnorodności opakowań i wyższymi wymaganiami dotyczącymi jakości i wydajności produktu, odpowiednio, różne wymagania dotyczące oprogramowania i sprzętu oraz świadomość ochrony przed wyładowaniami elektrostatycznymi dla wszystkich praktyków. ważniejsze, a to także odgrywa i pełni rolę „głównej roli” i „niewidzialnego zabójcy” wpływającego na jakość naszych produktów.Dlatego ochrona przed wyładowaniami elektrostatycznymi będzie głównym problemem w całej branży IC obecnie iw przyszłości.